國內濕法設備的主要供應商之一、至純科技(603690.SH)子公司至微半導體(上海)有限公司(以下簡稱“至微科技”)獲得國家隊增持。

公告顯示，至微科技將進行增資擴股，引入包括國家集成電路產業投資基金二期股份有限公司(以下簡稱“大基金二期”)、中國國有企業混合所有制改革基金有限公司(以下簡稱“混改基金”)等在內的多名重要股東，合計對其增資4.2億元。

長江商報記者注意到，本次增資中，至微科技整體估值25.02億元，其合并口徑下的歸屬于母公司所有者權益增值485.36%。獲得增資后，上市公司還將轉讓部分所持至微科技股權，但仍持有至微科技控股權，此時至微科技的估值已經達到29.18億元。

通過增資擴股引入核心戰略投資者，至微科技旨在進一步加快實現成為國內濕法設備領頭羊的戰略目標。作為國內濕法設備的主要供應商之一，至微科技自2017年成立以來，累計已獲得來自各大集成電路制造領先企業的濕法設備訂單超過160臺。

今年上半年，至微科技實現營業收入2.81億元，凈利潤1336.63萬元，相較于去年全年已經扭虧為盈。

增資前估值25億增值率超485%

大基金本月首次在A股出手增持。

10月18日晚間，至純科技披露控股子公司增資擴股事項，公司控股子公司至微科技擬通過增資擴股引入戰略投資者并進行股份轉讓。

本次交易前，至微科技注冊資本為4.55億元，依據增資前至微科技25億元的估值，對應5.49454元/注冊資本，本次深圳市遠致星火私募股權投資基金合伙企業(有限合伙)(以下簡稱“遠致星火”)、大基金二期、混改基金、中小企業發展基金(紹興)股權投資合伙企業(有限合伙)(以下簡稱“中芯聚源”)、上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業(有限合伙)(以下簡稱“裝備材料基金”)、中青芯鑫鼎橡(上海)企業管理合伙企業(有限合伙)(以下簡稱“芯鑫鼎橡”)、平潭溥博芯誠股權投資合伙企業(有限合伙)、上海芯晟至遠企業管理合伙企業(有限合伙)合計向至微科技增資4.2億元，其中7644萬元計入注冊資本，其余3.44億元計入資本公積。

長江商報記者注意到，吸引大基金、混改基金等國家隊以及私募機構入股，至微科技在本次交易中也獲得了較高的評估溢價。

本次增資前，根據收益法評估，至微科技股東全部權益價值評估值為25.02億元，較其合并口徑下的歸屬于母公司所有者權益4.28億元增值20.75億元，增值率485.36%。

本次增資的同時，至純科技將持有的至微科技對應本次增資4.2億元后的7.95%股權以2.32億元的價格轉讓給遠致星火。以此估算，此時至微科技的整體估值已經達到29.18億元。

上述交易完成后，至微科技的注冊資本增加至5.31億元，至純科技依舊保持控股地位不變，持股比例77.11%。遠致星火為第二大股東，持股比例10%，大基金二期及混改基金分別持股3.42%，中芯聚源持股1.71%，裝備材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯誠分別持股1.03%。

值得一提的是，這也是A股上市公司本月首次披露大基金增持動向。在此之前，兆易創新、晶方科技曾披露，大基金一期分別計劃減持兩家上市公司不超過1%股份。

濕法設備快速發展新增訂單4.3億

在半導體的生產過程中，清洗設備尤為重要，可以讓晶圓以最佳狀態進曝光機，避免曝光機因晶圓背面缺陷問題(金屬和顆粒)，把停機的時間降到最低。

雖然成立時間不長，但至微科技作為承載上市公司重要戰略決策“從工藝裝備支持系統到工藝裝備”、投入濕法設備研發和產業化的主體，得到了產業投資者的重點關注。

自2017年初上市后，至純科技就將有限資源全部投入到半導體業務中的濕法設備的研發和產能建設，同時投入資源將高純工藝系統設備產能也擴充了兩倍。其子公司至微科技就成立于2017年，主營業務為半導體濕法清洗設備的研發、生產與銷售。

公司介紹，至微科技成立以來，完成了系列化產品的研發、制造和銷售，累計已獲得來自各大集成電路制造領先企業的濕法設備訂單超過160臺，成為國內濕法設備的主要供應商之一。

截至今年上半年末，至純科技整體業務新增訂單達到17.2億元，達到去年全年新增訂單的88%。上半年新增訂單中，整個半導體板塊新增訂單14.2億元，其中濕法設備新增訂單4.3億元，達到上一年度全年濕法設備訂單的85%，濕法設備訂單中單片設備新增訂單2億元。公司半導體業務繼續行駛在發展快車道上。

此次為子公司增資擴股引入核心戰略投資者，至純科技也將進一步加快至微科技成為國內濕法設備領頭羊的戰略目標。

隨著半導體業務板塊的持續發力，至純科技的盈利能力大幅提升。2019年和2020年，公司分別實現營業收入9.86億元、13.97億元，同比增長46.34%、41.63%;凈利潤1.1億元、2.61億元，同比增長239.88%、136.36%。今年上半年，至純科技實現營收和凈利潤9.2億元、1.5億元，同比增長76.51%、395.51%，業績增速繼續走高。

據公司披露，2020年至微科技實現營業收入2.03億元、-1335.34萬元。今年上半年，至微科技扭虧為盈，實現營業收入2.81億元，凈利潤1336.63萬元，上年同期，至微科技的營業收入和凈利潤分別為0元、10.9萬元。(長江商報記者徐佳)