凱美特氣(002549)一則公告令二級市場沸騰。

2月2日午間，凱美特氣公告宣布，其子公司收到全球光刻機龍頭ASML子公司的供應商認證函，將公司光刻氣產品列入合格供應商名單。凱美特氣也將成為繼華特氣體(688268)后，國內第二家獲得ASML認證的電子特氣廠商。

午后，這一消息瞬間令凱美特氣股價拉升漲停，而同行華特氣體股價也在午后出現一定拉漲，一度漲逾3%。此前，被視為晶圓制造“血液”的電子特氣一直由國外廠商壟斷，隨著國產廠商陸續獲得巨頭認證，市場預計該細分領域國產替代化率將加速提升。

(資料圖片)

獲光刻機龍頭“背書”

凱美特氣公告顯示，其控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司(簡稱“電子特種氣體公司”)2月2日收到ASML子公司Cymer公司發來的合格供應商認證函，電子特種氣體公司生產的光刻氣產品通過了Cymer公司審查，Cymer公司已將電子特種氣體公司光刻氣產品列入合格供應商名單。

據了解，Cymer是世界領先的準分子激光源提供商，是ASML 集團內一家獨立運營的企業。Cymer公司發明了如今半導體制造中最關鍵的光刻技術所需的深紫外(DUV)光源，開發、制造和服務深紫外(DUV)光源。產品組合包括使用氟化氬(ArF)或氟化氪(KrF)氣體產生深紫外光的準分子激光器。

一般而言，集成電路領域的認證至少需要2年時間，一旦獲得客戶認可，一般不會輕易更換供應商。換言之，公司以后進入光刻氣行業市場，不再只是第三方代理銷售。

在去年10月，凱美特氣方面曾表示，其在ASML的供應商認證仍在進行中。而除了ASML外，凱美特氣還于2021年相繼通過了法國液空、美國相干的稀有氣體、混配氣認證，電子特氣業務開始逐漸放量。

該公司2022年中報顯示，特種氣體業務2022年上半年營收已由上年同期的825萬元提高至6586萬元，占比由上年同期的2.74%升至18.12%。而在去年1-9月，凱美特氣累計電子特氣訂單總銷售額達2.57億元，約為2021年全年訂單金額的13倍。

不過，凱美特氣此次在公告中也表示，公司獲得ASML子公司Cymer公司合格供應商認證函體現了頭部光刻機激光設備廠商對公司光刻氣產品的認可。Cymer公司本身不直接采購光刻氣產品，本次認證暫時未對其光刻氣產品營業收入、利潤產生直接影響。

這一消息也令二級市場沸騰，其股價在午后開盤后瞬間拉漲停，同時“順帶”拉了一把同行華特氣體，其股價也在開盤后一度漲逾3%。

細分領域國產替代加速

資料顯示，電子氣體是現代工業之基石，被譽為晶圓制造之“血液”。電子氣體可分為大宗氣體和特種氣體兩大類，其下游廣泛應用于集成電路、面板、醫療、光纖等新興行業和冶金、化工等傳統行業。

具體到集成電路領域，電子特氣應用的種類超過110余種，用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環節，是半導體行業必需的支撐性材料。

根據億渡數據，2021 年，集成電路是電子特氣下游應用中最重要的增長驅動力，其應用占比達到43%。在半導體材料的市場占比中，電子特氣占14%，成為僅次于硅片的第二大半導體材料市場。隨著國內晶圓廠陸續擴產，作為半導體的主要材料，電子特氣需求旺盛。

不過，當前全球電子氣體呈現外資寡頭壟斷格局。數據顯示，2020年全球電子氣體市場的 CR4超過75%，以海外龍頭林德集團(含普萊克斯)、空氣化工、液化空氣和日本酸素為首的氣體寡頭占據了全球七成以上的電子氣體市場份額。

相比之下，國內電子特氣產業起步較晚。根據億渡數據，2020年海外寡頭占據了我國86%的電子特氣市場份額，國產化率有較大提升空間。

除了此次凱美特氣獲得ASML認證外，此前國內僅有華特氣體獲得這家光刻機龍頭認可。據了解，華特氣體已實現約50種特種氣體國內同類產品的進口替代。其中，該公司的拳頭產品光刻氣得到ASML和日本GIGAPHOTON認證。

目前，華特氣體開發的高純一氧化碳、 高純一氧化氮等代表產品，已批量供應長江存儲等國內頭部廠商，成為全國最大的氮化鎵廠和碳化硅廠的供應商。

據華經產業研究院，2022年全球和中國的電子特氣市場規模分別預計為49億美元和189億元。考慮到國內下游Fab廠正加速認證，中國電子特氣需求增速將顯著高于全球。中國半導體行業協會預計，2024年中國電子特氣市場規模將提升到230億元，4年CAGR為11.28%，屆時中國將占據全球6成市場。

民生證券研報認為，通過不斷的經驗積累，國內電子特種氣體正逐步打破進口依賴的局面。目前國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備替代能力，在細分領域具有一定優勢，在部分產品上實現突破，達到國際標準，并逐步縮小與國外企業的差距，加速實現國產替代。

（文章來源：中國基金報）