至純科技（603690.SH）4月29日晚間發布2021年年報，2021年，公司實現營業收入20.84億元，同比增長49.18%；實現歸母凈利潤2.82億元，同比增長8.12%；實現扣非凈利潤1.62億元，同比增長46.57%；2021年經營活動產生的現金流量凈額為-1.91億元。

至純科技2000年成立，從高純工藝系統起步，逐步拓展了BU1-5五個事業部，分別開展濕法設備/晶圓再生、高純工藝系統、先進工藝材料、生物制藥工藝、光傳感及光器件業務，目前超過70%的業務在半導體領域。

公司年報顯示，營業收入同比增長主要系公司半導體板塊業務增長的收入貢獻，包括半導體制程設備業務、工藝支持設備業務及高純工藝系統服務業務等。2021年，至純科技半導體設備實現營收7.01億元，同比增長222.06%，毛利率同比提高2.63個百分點。

2021年，至純科技半導體設備業務板塊開始發力，持續在已有用戶端得到重復訂單，并持續開拓新用戶。2021年，公司拿到13位用戶的重復訂單，期間又開拓了10位新用戶，均為行業內主要的晶圓制造企業。

“我們至純非常在意單個用戶的復購，高純工藝系統我們已經有大量的用戶復購。濕法設備雖然起步晚，但基于一貫的至純的務實專業的作風，也在往這個趨勢去；我們特別關注單個用戶全線購買至純的濕法設備。”至純科技董事長蔣淵此前在接受第一財經專訪時表示。

至純科技于2015年開始布局研發的濕法設備在2021年迎來了高速增長，全年濕法設備的訂單達11.20億元，同比增長111.32%。2021年其單片濕法設備和槽式濕法設備全年出機超97臺；12英寸濕法設備新增訂單金額超過6億元，其中單片式濕法設備新增訂單金額超過3.8億元。

研發投入方面，根據通聯數據Datayes！，2021年至純科技研發投入為3.02億元，占營業收入14.50%。蔣淵此前對第一財經表示，“至純將資源盡量傾斜在濕法設備中。我們投入的都是自有資金，未來研發力度會隨著我們資源變多而加大。未來也會和我們的用戶一起做研發。”

至純科技在年報中提到了2022年經營計劃，2022年公司的新增訂單目標為超過40億元，其中濕法設備的新增訂單目標為超過20億元，新增訂單中預估單片設備會占到60%。

至純科技還表示，2022年公司核心的運營重點在于進一步增加濕法設備的產能，進一步扶植和培養在地化的供應鏈上游企業，以應對進口供應鏈的長交期以及逐漸解決進口長交期部件占用公司資金限制產能的問題。公司將在2022年度將濕法設備的產能增加到2021年的一倍。新增產能以高階單片設備為主。

至純科技同時披露了2022年一季報，一季度公司營業收入同比增長136.98%，歸母凈利潤同比下滑70.78%，扣非凈利潤大增1130.87%。其中歸母凈利潤下滑主要原因系上年同期收到政府補助及一季度公司持有交易性金融資產等公允價值變動逾-2000萬元，主要為間接持有韋爾股份本期公允價值變動。

值得注意的是，經初步核算統計，2022年1-4月至純科技新增訂單18.02億元，其中半導體濕法設備新增訂單6.31億元。光大證券在研報中表示，至純科技能提供全部28nm節點濕法設備，有望成為高端濕法設備的領先者，預計公司2022年濕法設備訂單有望達到20億元，該業務步入放量期。